İğne Profilometresi: Ultra Hassas Temas Yüzeyi Ölçüm Cihazı
Çalışma Prensibi
İğne profilometresi, elmas uçlu bir prob ile numune yüzeyi arasında doğrudan fiziksel temas yoluyla çalışır. İğne yüzeyde hareket ettikçe, mikroskobik tepeler ve vadiler dikey yer değiştirmelere neden olur ve bunlar sensörler aracılığıyla elektrik sinyallerine dönüştürülür. Bu sinyaller, ölçüm köprüleri, amplifikasyon, faz duyarlı doğrultma ve filtreleme süreçlerinden geçerek iğne hareketine orantılı, yavaş değişen bir çıktı üretir ve böylece yüzey topografyasını yeniden oluşturur.
Enstrüman Özellikleri
1. Yüksek Hassasiyet
Alt-angstrom dikey çözünürlük (≤0,1 nm)
Mikrondan nanometreye kadar yükseklik değişimlerini ölçer
Kapsamlı verileri yakalar: topografya, pürüzlülük, dalgalanma
2. Olağanüstü Stabilite
Yüksek tekrarlanabilirlik (σ < %0,5 @ 1μm adım)
İnce topografik detaylar için tekrarlanabilir ölçümler
3. Kullanıcı Dostu Kullanım
İsteğe bağlı renkli görüş navigasyon sistemi
Hızlı uç değişimi için manyetik prob teknolojisi (<30 sn)
Otomatik seviyeleme fonksiyonu ve kalibrasyon modüllerine sahip sezgisel yazılım
4. Çok İşlevli Yetenekler
Basamak yüksekliğini, film kalınlığını, pürüzlülüğü, gerilimi vb. ölçer.
Çok bölgeli ve 3B tarama modlarını destekler
Entegre SPC istatistiksel analizi (örneğin, Cp/Cpk hesaplamaları)
Uygulama Alanları
Yarı İletken Endüstrisi
İnce film basamak yüksekliği ölçümü (PVD/CVD katmanları)
Fotorezist profil karakterizasyonu
Aşındırma oranı kantifikasyonu
CMP (Kimyasal Mekanik Parlatma) izleme
Fotovoltaikler
Güneş hücreleri için kaplama kalınlığı analizi
Aşındırma sonrası basamak yüksekliği ölçümü
Perovskit/CIGS hücrelerinin performans optimizasyonu
